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科技日报记者 张 晔

近日，第五届二维材料国际会议在姑苏进行。会议时代，座落在姑苏市产业园区的纳米科技真空互联综合尝试装配（NANO-X），正式面向国表里用户开放，激发了科学界的存眷。

从被外界质疑，到世人不雅看，姑苏产业园区在成长纳米手艺与财产这条路上走过了13个年初。现在，园区已成为世界八年夜纳米财产会聚区之一，而中国科学院姑苏纳米手艺与纳米仿生研究所同样成为园区纳米财产立异的泉源。纳米真空互联尝试站这个年夜科学装配，建成后将构成一个国际顶尖纳米科技人材的堆积高地，对处所经济、科技具有很强的带动与辐射感化。

纳米财产将来利用空间庞大，但出功效也更慢。姑苏产业园区十年培养一个“慢”财产，用前瞻性的目光加上“十年磨一剑”的耐烦，成绩了纳米财产的会聚成长。

通向将来的纳米研究平台

2014年，全球纳米范畴的年夜科学装配——纳米真空互联尝试站在园区开工启动。

这是世界首个集材料发展、器件加工、测试阐发为一体的纳米范畴年夜科学装配。有了它，科学家将来就有可能制造出体积更小、运算速度更高的计较机，和加倍智能的机械人。

“将来电子元器件将成长到纳米级，器件尺寸愈来愈小，集成度愈来愈高。可是那末小的器件，以今朝的工艺还有良多效应没法解决，不克不及完成新型器件的制造。所以将来出产纳米乃至以下级此外器件需要一种全新的手艺线路。”中国科学院姑苏纳米手艺与纳米仿生研究所纳米真空互联尝试站副总批示丁孙安说。

而这个尝试装配就是在近似太空一样的全真空情况下的纳米器件研发平台，摸索的是将来纳米器件制造的新手艺。

这个装配的特点在于，经由过程超高真空管道把各功能装备彼此毗连，解决了传统超净间模式中难以解决的尘埃、概况氧化和吸附等污染题目。

今朝，除法国、德国等国度已与尝试站成立了合作关系，还有薛其坤院士团队、包信和院士团队、杜江峰院士团队和清华、北年夜、西交年夜等进行了深度合作，国内半导体相干企业也纷纭找上门来合作。

丁孙安告知记者，尝试站力求经由过程超高真空前提下的互联集成和若干重年夜项目验证，冲破现有仪器装备的功能限制，实现材料制备、测试阐发与微纳加工工艺等方面协同效应，为科研和计谋性新兴财产成长供给进步前辈的开放平台。

在试运行阶段，本着边扶植边运行的原则，今朝实验站已展开了86项国内国际的合作，装备安稳运行，用户利用机时达22000小时。

尝试站的南开年夜学董红课题组操纵过渡期的小型互联装配，测试多层布局的异质结带阶的响应尝试成果已颁发。

课题组经由过程前期的合作项目展开，合作颁发文章100多篇，《天然》子刊多篇，申请专利42项，授权10项。

构成园区纳米生态闭环效应

一片2英寸（约5厘米）直径的白色半透明、塑料质感的小圆片，在国际市场上的售价高达5000美元，并且一片难求——这就是被称为第三代半导体材料的氮化镓晶片。

位于姑苏产业园区的纳维科技，采取纳米手艺可批量出产2英寸氮化镓晶片，并已完成4英寸氮化镓同质晶片衬底的小批量出产。

纳维科技恰是依托中科院姑苏纳米所而建，董事长徐科也是最早插手纳米所的几名研究员之一。作为纳米所成立的第一家财产化公司，经由过程10年尽力，他们在氮化镓晶体结晶质量与块体材料电子迁徙率等综合指标方面均步进国际第一方阵，用户笼盖了国表里80%以上的研发机构和企业。

十多年前，中国科院纳米所落户姑苏产业园区，奠基了园区纳米财产成长的根本；今天，纳米真空互联装配的建成，真正闪现出当地科研实力+平台吸附效应，构成园区纳米生态闭环效应。

纳米科技真空互联综合尝试装配的重年夜意义在于，它将根本研究与利用手艺开辟直接对接，缩短和简化了从材料研究到器件开辟、财产化的历程，摸索纳米材料与新器件年夜范围制造的手艺线路。

丁孙安暗示，纳米真空互联尝试站不但可以展开硬件研制，也能开辟新的工艺，超导器件、半导体器件等对概况敏感的材料器件都可以在这里制造，可实现量子材料的设计、制备，如许便可以用于制造壮大的量子计较机。操纵这套装配，可以出产更智能化、更靠得住、更小型的器件，利用于通信、信息、人工智能等范畴。

“经由过程年夜科学装配，不但培育了一批国际顶尖纳米科技人材，还年夜年夜晋升了我国重年夜仪器装备的自立研制程度。”姑苏产业园区科技和信息化局局长许文清说，尝试装配面向全球开放，势必吸引国表里多学科高端科研与手艺人材会聚，带动区域财产的立异成长。

结构新财产要看到十年后的趋向

姑苏产业园区是我国第一个把纳米手艺利用财产作为区域计谋性新兴财产的区域。从决议成长纳米财产起头，这条纳米之路已走过十多年。

2006年，姑苏产业园区与中国科学院、江苏省、姑苏市配合出资建立了中国科学院姑苏纳米手艺与纳米仿生研究所。坊间为此颤动，但也有分歧声音呈现。

“那时，姑苏决议在国内率先把纳米手艺利用财产作为区域计谋性新兴财产，有些人不太理解。”姑苏市科技局局长张东驰说，“可是一个区域选择甚么样财产的结构，应当要斟酌到5—10年后的财产成长趋向。”

在姑苏纳微科技有限公司的尝试室里，显微镜下，连成一串串的球状颗粒碰到水后，刹时四散开来，自力散布在玻璃片上，这些颗粒即是纳米微球。

该公司研发出的这类单分离硅胶色谱填料，是为生物药“往杂质”的产物，占有了全部药物研发本钱的50%—80%。但此前，这项手艺一向垄断在国外企业手里，国内企业必需高价采办。他们的产物一上市就倒逼着日本一家企业将几十万元/千克的价钱降到本来的1/10。

纳米手艺犹如一根金丝串起了浩繁财产，也为园区带来了丰硕的上下流业态。园区慢慢成长起微纳制造、纳米新材料、微电机系统、氮化镓等多个上风财产集群。

“纳米财产和其他财产纷歧样，更根本更普遍，出功效也更‘慢’。必需有耐烦，才能走得更远。”张东驰说道。

今朝，姑苏产业园区已成为国内纳米手艺财产资本会聚度最高的区域之一，纳米财产手艺程度也快速晋升。汉全国、纳维科技、晶湛半导体、星烁纳米等一批企业霸占手艺壁垒,弥补多项国表里手艺空缺。截至今朝,累计引进纳米手艺利用企业超600家,本年1—9月,姑苏产业园区纳米手艺利用财产实现产值564亿元。